Plasma Species

C, F, CF, F₂, CF₂, CF₃, CF₄

C⁺, F⁺, CF⁺, CF₂⁺, CF₃⁺ and e^-, F^-

1.

e + C ---> C⁺ + 2e

26.

e + C ---> e + C

2.

e + F ---> F⁺ + 2e

27.

e + F ---> e + F

3.

e + CF ---> CF⁺ + 2e

28.

e + CF ---> e + CF

4.

e + CF₂ ---> CF₂⁺ + 2e

29.

e + CF₂ ---> e + CF₂

5.

e + CF₃ ---> CF₃⁺ + 2e

30.

e + CF₃ ---> e + CF₃

31.

e + CF₄ ---> e + CF₄

6.

e + CF₂ ---> CF⁺ + F + 2e

7.

e + CF₃ ---> CF⁺ + 2F + 2e

32.

CF + F ---> CF₂

8.

e + CF₃ ---> CF₂⁺ + F + 2e

33.

CF₂ + F ---> CF₃

9.

e + CF₄ ---> CF⁺ + 3F + 2e

34.

CF₃ + F ---> CF₄

10.

e + CF₄ ---> CF₂⁺ + 2F + 2e

11.

e + CF₄ ---> CF₃⁺ + F + 2e

e + F₂ ---> 2F + e

Heterogeneous Reactions

13.

e + CF ---> C + F + e

14.

e + CF₂ ---> CF + F + e

Adsorption

15.

e + CF₃ ---> CF + 2F + e

35.

F + site ---> F_ads

16.

e + CF₃ ---> CF₂ + F + e

17.

e + CF₄ ---> CF + 3F + e

18.

e + CF₄ ---> CF₂ + 2F + e

36.

C + F_ads ---> CF + site

19.

e + CF₄ ---> CF₃ + F + e

37.

F + F_ads ---> F₂ + site

Dissociative Attachment

38.

CF + F_ads ---> CF₂ + site

20.

e + CF₄ ---> CF₃ + F^-

39.

CF₂ + F_ads ---> CF₃ + site

21.

e + F₂ ---> F + F^-

40.

CF₃ + F_ads ---> CF₄ + site

22.

F⁺ + F^- ---> 2F

* No deposition reactions.

23.

CF⁺ + F^- ---> CF + F

24.

CF₂⁺ + F^- ---> CF₂ + F

25.

CF₃⁺ + F^- ---> CF₃ + F